Термодинамическое исследование комплекса меди(I) как основа технологии химического газофазного осаждения

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Получены новые данные о термическом поведении и процессах сублимации и плавления (гексафторацетилацетонато)(циклооктадиен-1,5)меди, [Cu(cod)(hfac)]. Конденсированная фаза исследована методами термического и дифференциального термического анализа и дифференциальной сканирующей калориметрии: определены температура, энтальпия и энтропия плавления комплекса. Эффузионным методом Кнудсена с масс-спектрометрической регистрацией состава газовой фазы получена температурная зависимость давления насыщенного пара [Cu(cod)(hfac)] в интервале температур 293–337 K, рассчитаны термодинамические характеристики процесса сублимации при средней температуре экспериментального интервала и 298.15 K: ΔсублH0m (Tср) = 94.8 ± 1.5 кДж моль-1, ΔсублS0m (Tср) = 200.9 ± 3.2 Дж моль-1 K-1; ΔсублH0m (298.15 K) = 95.8 ± 3.1 кДж моль-1, ΔсублS0m (298.15 K) = 203.5 ± 6.6 Дж моль-1 K-1. Полученные величины сопоставлены с данными по аналогичному соединению иридия(I), [Ir(cod)(hfac)]. Результаты формируют подходы для оценки термодинамических свойств комплексов состава [M(cod)(hfac)] с целью определения оптимальных условий осаждения металлсодержащих покрытий. Подходы необходимы, когда соединения такого типа (например, [Ag(cod)(hfac)]) являются сверхчувствительными к процессу нагревания и отсутствует возможность определения надежных термодинамических характеристик экспериментальным путем.

作者简介

К. Жерикова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

编辑信件的主要联系方式.
Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

С. Трубин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

Д. Пищур

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

Н. Морозова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

参考

  1. Karakovskaya K.I., Dorovskikh S.I., Vikulova E.S. et al. // Coatings. 2021. V. 11. Nо 1. P. 78. doi: 10.3390/coatings11010078.
  2. Hnyk D., Bühl M., Brain P.T. et al. // J. Am. Chem. Soc. 2002. V. 124. Nо 27. P. 8078. doi: 10.1021/ja012505a.
  3. Baum Th.H., Larson C.E., Reynolds S.K. Ligand Stabilized +1 Metal Beta-diketonate Coordination Complexes and Their Use in Chemical Vapor Deposition of Metal Thin Films: Patent US-5096737-A. Publication Date: 1992-03-16. Assignee: International Business Machines Corp.
  4. Gao L., Härter P., Linsmeier Ch. et al. // Microelectron. Eng. 2005. V. 82. Nо 3–4. P. 296. doi: 10.1016/j.mee.2005.07.078.
  5. Xu C., Baum Th.H., Drive C., Rheingold A.L. // Chem. Mater. 1998. V. 10. Nо 9. P. 2329. doi: 10.1021/cm980346x
  6. Лозанов В.В., Ильин И.Ю., Морозова Н.Б. и др. // ЖНХ. 2020. Т. 65. № 11. С. 1570. (Lozanov V.V., Il’in I.Y., Morozova N.B. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V. 65. Nо 11. 1781). doi: 10.1134/S0036023620110108.
  7. Kuo Y.-L., Lee Ch., Chen G. et al. // Electrochem. Solid-State Lett. 2007. V. 10. Nо 5. P. D51. doi: 10.1149/1.2710956.
  8. Panin A.V., Shugurov A.R., Liskovskaya T.I. et al. // Proc. Electrochem. Soc. 2003. V. 2003-8. P. 1297
  9. Vikulova E.S., Karakovskaya K.I., Ilyin I.Y. et al. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2021. V. 23. Nо 16. P. 9889. doi: 10.1039/D1CP00464F
  10. Vikulova E.S., Ilyin I.Y., Karakovskaya K.I. et al. // J. Coord. Chem. 2016. V. 69. Nо 15. P. 2281. doi: 10.1080/00958972.2016.1198955.
  11. Golrokhi Z., Chalker S., Sutcliffe Ch.J., Potter R.J. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 364. P. 789. doi: 10.1016/j.apsusc.2015.12.127.
  12. Chi K.M., Shin H.-K., Hampden-Smith M.J. et al. // Polyhedron. 1991. V. 10. Nо 19. P. 2293. doi: 10.1016/S0277-5387(00)86153-7.
  13. Fadeeva V.P., Tikhova V.D., Nikulicheva O.N. // J. Anal. Chem. 2008. V. 63. P. 1094. doi: 10.1134/S1061934808110142.
  14. Макаренко А.М., Куратьева Н.В., Пищур Д.П., Жерикова К.В. // ЖНХ. Т. 68. № 2. С. 221. (Makarenko A.M., Kuratieva N.V., Pischur D.P. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2023. V. 68. Nо 2. P. 183. doi: 10.1134/S0036023622602215).
  15. Semyannikov P.P., Igumenov I.K., Trubin S.V. // Thermochim. Acta. 2005. V. 432. Nо 1. P. 91. doi: 10.1016/j.tca.2005.02.034.
  16. Гранкин В.М., Семянников П.П. // Приборы и техника эксперимента. 1991. № 4. С. 129.
  17. Сидоров А.Н., Коробов М.В., Журавлева Л.В. Масс-спектральные термодинамические исследования. М.: МГУ, 1985. 208 с.
  18. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // J. Chem. Eng. Data. 2001. V. 46. Nо 6. P. 1593. doi: 10.1021/je010187p
  19. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // Fluid Phase Equilib. 2001. V. 192. Nо 1–2. P. 187. doi: 10.1016/S0378-3812(01)00633-1
  20. Chickos J.S., Hosseini S., Hesse D.G., Liebman J.F. // Struct. Chem. 1993. V. 4. Nо 4. P. 271. doi: 10.1007/BF00673701.
  21. Acree W., Chickos J.S. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2016. V. 45. Nо 3. P. 033101. doi: 10.1063/1.4948363.
  22. Жерикова К.В., Макаренко А.М., Караковская К.И. и др. // ЖОХ. 2021. Т. 91. № 10. С. 1548. (Zherikova K.V., Makarenko A.M., Karakovskaya K.I. et al. // Russ. J. Gen. Chem. V. 91. Nо 10. P. 1990). doi: 10.1134/S1070363221100108.
  23. Zherikova K.V., Vikulova E.S., Makarenko A.M. et al. // Thermochim. Acta. 2020. V. 689. P. 178643. doi: 10.1016/j.tca.2020.178643
  24. Беспятов М.А., Черняйкин И.С., Кузин Т.М., Гельфонд Н.В. // Журн. физ. химии. 2022. T. 96. № 9. С. 1266. (Bespyatov M.A., Cherniaikin I.S., Kuzin T.M., Gel’fond N.V. // Russ. J. Phys. Chem. A. 2022. V. 96. Nо 9. P. 1865). doi: 10.1134/S0036024422090047.
  25. Verevkin S.P., Sazonova A.Y., Emel’yanenko V.N. et al. // J. Chem. Eng. Data 2015. V. 60. Nо 1. P. 89. doi: 10.1021/je500784s.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2024