Отправить статью по E-mail 
Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии
- Авторы: Бринкевич Д.И.1, Гринюк Е.В.1, Просолович В.С.1, Зубова О.А.2, Колос В.В.2, Бринкевич С.Д.3, Вабищевич С.А.4
-
Учреждения:
- Белорусский государственный университет
- ОАО “ИНТЕГРАЛ” – управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
- ООО “Мой медицинский центр – высокие технологии”
- Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
- Выпуск: Том 54, № 1 (2025)
- Страницы: 55–63
- Раздел: ТЕХНОЛОГИИ
- URL: https://permmedjournal.ru/0544-1269/article/view/685019
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0544126925010068
- EDN: https://elibrary.ru/GIFZZB
- ID: 685019
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Аннотация
Методами микроиндентирования и ИК-Фурье-спектроскопии с использованием приставки для диффузного отражения исследованы пленки негативных фоторезистов (ФР) AZ nLOF 2020, AZ nLOF 2070 и AZ nLOF 5510 толщиной 0.99–6.0 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Установлено, что пленки ФР ведут себя как упругопластичные материалы, в которых присутствуют растягивающие упругие напряжения. Наиболее интенсивными в спектрах поглощения ФР серии AZ nLOF являются линии валентных колебаний ароматического кольца, пульсационных колебаний углеродного скелета ароматического кольца, широкая структурированная полоса с несколькими максимумами в диапазоне 1050–1270 см–1 и полоса, связанная с СН2-мостиком. Показано, что линия, соответствующая колебаниям CH3 групп с максимумом при 2945 см–1, обусловлена растворителем. Различия в спектрах ФР AZ nLOF 2020 и AZ nLOF 2070 связаны с присутствием в пленках остаточного растворителя и взаимодействием его молекул с ароматическими кольцами основного компонента ФР.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Д. И. Бринкевич
Белорусский государственный университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: brinkevich@bsu.by
Белоруссия, Минск
Е. В. Гринюк
Белорусский государственный университет
Email: brinkevich@bsu.by
Белоруссия, Минск
В. С. Просолович
Белорусский государственный университет
Email: prosoloch@bsu.by
Белоруссия, Минск
О. А. Зубова
ОАО “ИНТЕГРАЛ” – управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
Email: brinkevich@bsu.by
Белоруссия, Минск
В. В. Колос
ОАО “ИНТЕГРАЛ” – управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
Email: brinkevich@bsu.by
Белоруссия, Минск
С. Д. Бринкевич
ООО “Мой медицинский центр – высокие технологии”
Email: brinkevich@bsu.by
Россия, Всеволожск
С. А. Вабищевич
Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
Email: brinkevich@bsu.by
Белоруссия, Новополоцк
Список литературы
- AZ nLOF 20xx negative resist // www.microchemicals.com/products/photoresists
- Бринкевич Д.И., Харченко А.А., Просолович В.С., Оджаев В.Б., Бринкевич С.Д., Янковский Ю.Н. Модификация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионами бора и фосфора // Микроэлектроника – 2019 – Т. 48, № 3. – С. 235–239.
- Poljansek I., Sebenik U., Krajnc M. Characterization of phenol-urea-formaldehyde resin by inline FTIR spectroscopy// Journal of Applied Polymer Science. – 2006 – V. 99, № 5. – P. 2016–2028.
- Бринкевич С.Д., Бринкевич Д.И., Просолович В.С., Ластовский С.Б., Петлицкий А.Н. Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного резистов. // Журнал прикладной спектроскопии. – 2020. – T. 87, № 6 – С. 941–948.
- Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Бринкевич С.Д., Просолович В.С., Колос В.В., Зубова О.А., Ластовский С.Б. Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии // Журнал прикладной спектроскопии. – 2023. – T. 90, № 6. – С. 863–869.
- Бринкевич С.Д., Гринюк Е.В., Бринкевич Д.И., Просолович В.С. Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста за областью внедрения ионов // Химия высоких энергий. – 2020. – T. 54, № 5. – С. 377–386.
- Garcia I.T.S., Zawislak F.C., Samios D. The effects of nuclear and electronic stopping powers on ion irradiated novolac-diazoquinone films // Applied Surface Science. – 2004. – V. 228. № 1–4. P. 63–76.
- Тарасевич Б.Н. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы. – М.: МГУ, 2012. – 55 c.
- Бринкевич Д.И., Бринкевич С.Д., Петлицкий А.Н., Просолович В.С. Трансформация спектров нарушенного полного внутреннего отражения в процессе сушки диазохинон-новолачного фоторезиста // Микроэлектроника. – 2021 – Т. 50, № 4. С. 274–280.
- Оджаев В.Б., Петлицкий А.Н., Просолович В.С., Ковальчук Н.С., Соловьев Я.А., Жигулин Д.В., Шестовский Д.В., Янковский Ю.Н., Бринкевич Д.И. Спектры нарушенного полного внутреннего отражения азотированных структур /Si // Журнал прикладной спектроскопии. – 2022. – T. 89, № 4. С. 498–504.
- Преч Э., Бюльманн Ф., Аффольтер К. Определение строения органических соединений. Таблицы спектральных данных, Москва, Мир, Бином. 2006. 438 c.
- Бринкевич С.Д., Бринкевич Д.И., Просолович В.С., Свердлов Р.Л. Модификация спектров нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного резиста при облучении γ-квантами // Химия высоких энергий. – 2021. – T. 55, № 1. – С. 66–75.
- Бринкевич Д.И., Просолович В.С., Янковский Ю.Н. Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора // Журнал Белорусского государственного университета. – 2020. – № 2. – С. 62–69.
- Бринкевич Д.И. Просолович В.С., Колос В.В., Зубова О.А., Вабищевич С.А. Инфракрасная Фурье-спектроскопия диффузного отражения пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. Физика – 2024. – № 2(43). – C. 34–40.
Дополнительные файлы
