Микроэлектроника
ISSN (print): 0544-1269
Свидетельство о регистрации СМИ: № 0110136 от 04.02.1993
Учредители: Российская академия наук, Физико-технологический ин-тут РАН
Главный редактор: Красников Геннадий Яковлевич, академик РАН, д-р техн. наук
Периодичность / доступ: 6 выпусков в год / подписка
Входит в: Белый список (2 уровень), перечень ВАК, РИНЦ
Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических принципов, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и твердотельные кубиты для квантовых вычислений.
Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.
Журнал основан в 1972 году.